目前大功率的集成電路材料一般是三氧化二鋁或者Beo陶瓷,Beo雖然具有優(yōu)異的綜合性能,但其具有較高的生產(chǎn)成本和劇毒的缺點限制了它的應用推廣。而AL2O3基板的導熱率低、熱膨脹系數(shù)與Si不太匹配。無論是性能、成本、環(huán)保都不能滿足電子大功率器件氮化鋁陶瓷電路板的要求。
氮化鋁陶瓷電路板可以解決以上的問題
氮化鋁陶瓷具備優(yōu)異的綜合性能,是近年來受到廣泛關(guān)注的新一代先進陶瓷,在多方面都有著廣泛的應用前景,尤其是其具有高導熱率、低介電常數(shù)、低介電損耗、優(yōu)良的電絕緣性,與硅相匹配的熱膨脹系數(shù)及無毒性等優(yōu)點,使其成為高密度、大功率和高速集成電路板與封裝基板的理想材料。
陶瓷基板的成型主要有壓膜、干壓、和流延成型三種方法。其中以流延法成型生產(chǎn)效率最高,且易于實現(xiàn)生產(chǎn)的連續(xù)化和自動化,改善產(chǎn)品質(zhì)量,降低成本,實現(xiàn)大批量生產(chǎn),生產(chǎn)基板的厚度可以薄至于10μm以下,厚度1mm以上。流延成型是氮化鋁陶瓷電路板向?qū)嵱没D(zhuǎn)化的重要一步,有著重要的應用前景。
氮化鋁陶瓷電路板在導熱方面有很大的優(yōu)勢
在氮化鋁一系列重要性質(zhì)中,最為顯著的是高導熱率。其主要機理為:通過點陣或晶格震動,即借助晶格波或熱波進行傳遞。氮化鋁陶瓷為絕緣陶瓷材料,對于絕緣陶瓷材料,熱能以原子振動方式傳遞,屬于聲子導熱,聲子在它的導熱過程中扮演者重要的角色。氮化鋁熱導率理論上可達320W(m·K),但由于氮化鋁中有雜質(zhì)和缺陷,導致氮化鋁陶瓷電路板的導熱率達不到理論值。氮化鋁粉末中雜質(zhì)主要是氧、碳,另外還有少量的金屬離子雜質(zhì),在晶格中產(chǎn)生各種缺陷形式,這些缺陷對聲子的散射會導致熱導率。即便如此,氮化鋁陶瓷電路板也是目前市場上導熱率最高的電路板。
流延成型工藝包括漿料制備、球磨、成型、干燥、剝離基帶等過程,該工藝方法的特點是設(shè)備簡單、工藝穩(wěn)定、可連續(xù)操作、生產(chǎn)效率高、可實現(xiàn)自動化。流延法制備陶瓷基板對工藝要求非常嚴格,要制得性能良好的氮化鋁陶瓷基板,必須對流程中的每一個工序做到最優(yōu)化。影響氮化鋁陶瓷電路板的因素有漿料粘度,排膠和預燒結(jié),這會影響到基板的平整度、導熱率等等。
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