陶瓷基板在電力模塊領(lǐng)域的應(yīng)用
目前設(shè)計(jì)工程師都選擇直接敷銅(DBC)和活性金屬釬焊(AMB)基板作為電力模塊中半導(dǎo)體裸芯片的電路材料,這是因?yàn)檫@種基板能夠使半導(dǎo)體的熱量有效消散,并延長(zhǎng)模塊的使用壽命。但是工藝和生產(chǎn)工程師首先應(yīng)建立這些模塊,他們必須謹(jǐn)慎地加入多個(gè)部件,并將它們連接在一起,以提供所需的電氣、熱力、化學(xué)和機(jī)械功能。下面內(nèi)容中,我們將基于一個(gè)典型的生產(chǎn)流程,重點(diǎn)描述基板在裝配工過(guò)程中每一步的最重要特征。
一,芯片貼裝
第一步通常是將多個(gè)半導(dǎo)體芯片貼裝到基板上。理想的做法是將芯片直接壓裝到基板上。因?yàn)檫@種連接工藝無(wú)需額外材料,所以能在很大程度上降低芯片和基板之間的熱變電阻,并提高可靠性。但是,雖然不斷實(shí)施一些有望的研發(fā)活動(dòng),但是該方法目前并不常用,這是因?yàn)樗枰獜椈捎|點(diǎn)和專用泡棉,以便施加充足且均勻的壓力,同時(shí)不損壞芯片。而且基板必須基本平整,非常干凈,無(wú)劃痕、齒形缺口、凸起等瑕疵。然而直到今天,焊接還是最常用的芯片貼裝技術(shù)。因?yàn)樵摴に嚳梢栽诓煌倪€原環(huán)境中使用不同的膏狀或粗加工焊料合金,使用或不使用助焊劑,并通過(guò)加熱板、高溫光線或蒸汽傳遞熱量,所以該工藝過(guò)程是不同的。但是在任何情況下,該工藝都在真空條件下進(jìn)行,以免形成孔隙,否則會(huì)影響熱傳遞。而且基板表面上的焊料潤(rùn)濕性也很關(guān)鍵。無(wú)論是裸銅、鎳還是金表面,都必須避免污染。這可以通過(guò)基板的恰當(dāng)清理、包裝、運(yùn)輸、儲(chǔ)存和裝卸實(shí)現(xiàn)。因?yàn)椴僮鲉T必須嚴(yán)格遵守這些說(shuō)明,所以應(yīng)對(duì)操作人員進(jìn)行培訓(xùn),加強(qiáng)他們的清潔意識(shí)。
銀燒結(jié)是一種可替代的芯片貼裝技術(shù),且在近幾年這種技術(shù)日益重要。在該工藝中,在壓力和250°C左右的溫度下,將以膏狀或薄膜形態(tài)的納米銀或銀微粒燒結(jié)在一起,形成一個(gè)薄薄的銀燒結(jié)層。由于這種銀燒結(jié)層的熔點(diǎn)高、導(dǎo)熱系數(shù)高且燒結(jié)層非常薄,所以它在熱變電阻和可靠性方面比傳統(tǒng)焊料層好得多。但是該工藝仍舊還是新工藝,需要新設(shè)備來(lái)施加所需的壓力。隨著新型燒結(jié)設(shè)備和新型燒結(jié)材料的出現(xiàn),提出了新的基板要求,其中最重要的是表面粗糙度降低和鍍銀表面。另外,已經(jīng)開(kāi)發(fā)出了一種選擇性鍍銀工藝,它能僅在芯片區(qū)域的需要位置提供鍍銀表面。
二,基板的選用
第二步是將帶有半導(dǎo)體裸芯片的基板固定到一個(gè)銅制或鋁碳化硅底板上。對(duì)于需要將多個(gè)基板裝到一個(gè)超大底板上的大功率模塊來(lái)說(shuō),尤其如此。而且對(duì)于芯片貼裝,焊接是最常用的技術(shù),同時(shí)燒結(jié)法也日益受到關(guān)注。但是由于待連接的表面較大,所以該工藝步驟比芯片貼裝更重要?,F(xiàn)在除了清潔度、表面鍍層、粗糙度和瑕疵以外,基板和底板的翹曲度也非常重要,如果控制不當(dāng),則可能嚴(yán)重影響產(chǎn)量。而且因?yàn)閹в性幕搴偷装宓膬r(jià)值較高,所以隨著成品率損失增加,相關(guān)成本也較高。
對(duì)于僅需要一個(gè)基板的中低功率模塊,模塊制造商都避免使用底板。因?yàn)槟K外殼帶有螺釘和彈簧觸點(diǎn),可以在整個(gè)基板表面提供充足、均勻的壓力,所以可以不使用底板。因此,若終端用戶遵照安裝說(shuō)明,并在模塊和散熱片之間使用正確、充足數(shù)量的導(dǎo)熱膠,即可實(shí)現(xiàn)與散熱片的完美接觸。遺憾的是,過(guò)去事實(shí)并非總是如此,所以模塊制造商必須處理很多投訴。與此同時(shí),很多模塊制造商將一系列帶有預(yù)涂導(dǎo)熱膠的模塊投放市場(chǎng),以免出現(xiàn)上述問(wèn)題。與帶底板的模塊不同的是,無(wú)底板模塊的基板背面直接暴露到周圍環(huán)境中。因此如果在供應(yīng)鏈上不采取保護(hù)措施,那么該表面易于氧化或污染。例如,因?yàn)槁沣~表面的輕微氧化易于發(fā)現(xiàn),所以很多模塊制造商更喜歡使用鎳或金表面。而且,對(duì)于帶底板的連接工藝來(lái)說(shuō)可以接受的小瑕疵通常是終端用戶關(guān)心的問(wèn)題,盡管這些小瑕疵不影響模塊在系統(tǒng)中的性能,但是還需要更多調(diào)查結(jié)果證明它們僅是美觀問(wèn)題,但對(duì)應(yīng)用無(wú)不良影響。
三,陶瓷基板有效實(shí)現(xiàn)電力模塊的電氣連接
在一個(gè)電力模塊中,多個(gè)裝置必須并聯(lián)或串聯(lián)在一起,并最終與模塊終端相連。但是大
部分半導(dǎo)體是縱向芯片,底部和頂部均有電極觸點(diǎn)。作為一種電路材料,一個(gè)基板本身不能將所有這些觸點(diǎn)連接在一起。在大部分傳統(tǒng)做法中,頂部和底部之間的芯片觸點(diǎn)(串聯(lián))或頂部和頂部之間的芯片觸點(diǎn)(并聯(lián))的連接通過(guò)鋁導(dǎo)線實(shí)現(xiàn)。用于該目的的導(dǎo)線直徑通常是100 μm~ 500 μm。若該導(dǎo)線必須與基板表面連接,相應(yīng)的凸起或孔隙等瑕疵會(huì)不可避免的對(duì)導(dǎo)線鍵合工藝有所影響。我們的操作員和自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備尤其注意相應(yīng)的導(dǎo)線鍵合區(qū)域,從而保證交付的基板符合相應(yīng)的技術(shù)規(guī)范。
多年前模塊制造商已經(jīng)知道鋁導(dǎo)線會(huì)限制模塊的可靠性。他們已經(jīng)研發(fā)了新材料和新技術(shù),來(lái)代替鋁導(dǎo)線,例如銅導(dǎo)線或銅帶和柔性電路。另一種方法是使用以?shī)A心形式布置的兩個(gè)基板,每側(cè)均安裝芯片。該方法對(duì)平整度和平行度的要求增加,為模塊設(shè)計(jì)和基板帶來(lái)了新挑戰(zhàn)。但是也提供了另一個(gè)散熱路徑,這種雙面散熱方法日益流行。
最后,模塊端子可以通過(guò)超聲波焊接工藝,焊接或貼裝到基板上。因?yàn)橘N裝無(wú)需附加材料,且能實(shí)現(xiàn)銅對(duì)銅直接接觸,所以貼裝有顯著的可靠性優(yōu)勢(shì)。若不謹(jǐn)慎選擇基板的工藝參數(shù)和設(shè)計(jì),那么在該工藝實(shí)施期間作用到基板上的作用力和機(jī)械振動(dòng)可能造成陶瓷層損壞。
四,塑封
為了提供機(jī)械剛性,并保護(hù)器件裝置不受周圍環(huán)境中的濕度和其它化學(xué)物質(zhì)的影響,用硅凝膠、環(huán)氧樹(shù)脂或塑封料密封帶有元件的基板。這些密封材料是保證所需絕緣效果的關(guān)鍵?;灞砻嫒鄙僬掣搅?,或塑封材料中有氣泡都可能造成在使用期間絕緣失效。為了根據(jù)塑封材料的熱膨脹系數(shù)(CTE)、彈性模量和玻璃化溫度優(yōu)化密封材料的粘附性,可能必須對(duì)基本表面進(jìn)行特殊處理或表面處理。因?yàn)樾酒Y(jié)溫的持續(xù)升高,且必須證明能夠經(jīng)得住較高溫度的新塑封材料是否合格,所以要不斷進(jìn)行與此相關(guān)的很多研發(fā)。
在整個(gè)生產(chǎn)流程上,基板對(duì)于產(chǎn)線的良率、以及在后期使用期間實(shí)現(xiàn)模塊的設(shè)計(jì)性能來(lái)說(shuō)是很重要的。金瑞欣陶瓷基板加工技術(shù)工藝成熟,在電子電力模塊方面的客戶也有合作,客戶反饋陶瓷基板性能良好,更多陶瓷基板相關(guān)問(wèn)題可以咨詢金瑞欣特種電路。