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一文搞懂陶瓷基板DPC,AMB,HTCC,DBC等工藝技術(shù)

69 2023-11-06
DPC AMB HTCC DBC

文章索引:首先了解陶瓷基板與陶瓷基片的區(qū)別,特性優(yōu)勢(shì),陶瓷基板制造五大工藝知識(shí),以及工藝特點(diǎn)進(jìn)行分析,行業(yè)展望,最后我們學(xué)習(xí)一下華科大對(duì)陶瓷基板科研知識(shí)案例分享

DPC陶瓷基板

陶瓷基板目前在電子科技領(lǐng)域起著非常重要作用,核心是陶瓷基板的高導(dǎo)熱性、高絕緣性、熱導(dǎo)率等優(yōu)勢(shì)決定。那么陶瓷基板與陶瓷基片而言,有什么突出優(yōu)勢(shì)呢?

1,陶瓷基板和陶瓷基片的區(qū)別

陶瓷基片,是以電子陶瓷為基底,對(duì)膜電路元件及外貼切元件形成一個(gè)支撐底座的片狀材料。
陶瓷基板是指銅箔在高溫下直接鍵合到陶瓷基片表面(單面或雙面)上的特殊工藝板。陶瓷基板所制成的超薄復(fù)合基板具有優(yōu)良電絕緣性能,高導(dǎo)熱特性,優(yōu)異的軟釬焊性和高的附著強(qiáng)度,并可像PCB板一樣能刻蝕出各種圖形,具有很大的載流能力。因此,陶瓷基板已成為大功率電力電子電路結(jié)構(gòu)技術(shù)和互連技術(shù)的基礎(chǔ)材料。
總之,簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),就是基片上沒(méi)有線路,基板上已經(jīng)蝕刻了金屬線路。

2,陶瓷基板的核心優(yōu)勢(shì)

陶瓷基板機(jī)械應(yīng)力強(qiáng),形狀穩(wěn)定;高強(qiáng)度、高導(dǎo)熱率、高絕緣性;結(jié)合力強(qiáng),防腐蝕;具有極好的熱循環(huán)性能,循環(huán)次數(shù)達(dá)5萬(wàn)次,可靠性高;與PCB板(或IMS基片)一樣可刻蝕出各種圖形的結(jié)構(gòu);無(wú)污染、無(wú)公害。

陶瓷基板的性能要求:

1.機(jī)械性質(zhì)

有足夠高的機(jī)械強(qiáng)度,除搭載元件外,也能作為支持構(gòu)件使用;加工性好,尺寸精度高;

2.電學(xué)性質(zhì)

絕緣電阻及絕緣破壞電壓高;

介電常數(shù)低;

介電損耗小;

在溫度高、濕度大的條件下性能穩(wěn)定,確保可靠性。

3.熱學(xué)性質(zhì)

熱導(dǎo)率高;

熱膨脹系數(shù)與相關(guān)材料匹配(特別是與Si的熱膨脹系數(shù)要匹配);

耐熱性優(yōu)良。

4.其它性質(zhì)

化學(xué)穩(wěn)定性好;容易金屬化,電路圖形與其附著力強(qiáng);

無(wú)吸濕性;耐油、耐化學(xué)藥品;a射線放出量??;

所采用的物質(zhì)無(wú)公害、無(wú)毒性;在使用溫度范圍

內(nèi)晶體結(jié)構(gòu)不變化

陶瓷基板也有成為陶瓷電路板、陶瓷線路板、陶瓷pcb板等,陶瓷基板根據(jù)陶瓷基片材料不同,可以分為氧化鋁陶瓷基板、氮化鋁陶瓷基板、氮化硅陶瓷基板、碳化硅陶瓷基板等,根據(jù)不同工藝又可以分為DPC陶瓷基板、DBC陶瓷基板、AMB陶瓷基板、HTCC陶瓷基板、LTCC陶瓷基板等;根據(jù)層數(shù)可以分為單、雙面陶瓷基板、多層陶瓷基板。陶瓷基板具備良好的綜合電氣性能,陶瓷基片更多是作為基底,支撐和散熱、絕緣作用。

劃重點(diǎn)陶瓷電路板的主要優(yōu)點(diǎn)

1:導(dǎo)熱系數(shù)高;

2:更匹配的熱膨脹系數(shù);

3:堅(jiān)固,低阻抗的金屬膜層;

4:基材可焊接性好,使用溫度高;

5:絕緣性好;

6:低頻損耗;

7:可以進(jìn)行高密度組裝;

8:無(wú)有機(jī)成分,耐宇宙射線,航空航天可靠性高,使用壽命長(zhǎng);

9:銅層不含氧化層,可在還原性氣氛中長(zhǎng)期使用;


陶瓷電路板的缺點(diǎn)

易碎,這是最主要的一個(gè)缺點(diǎn),這也就導(dǎo)致只能制作小面積的電路板。

價(jià)格貴, 電子產(chǎn)品的要求規(guī)則越來(lái)越多,陶瓷電路板還是用在一些比較高端的產(chǎn)品上面,低端的產(chǎn)品根本不會(huì)使用到。


陶瓷電路板應(yīng)用范圍

陶瓷電路板可應(yīng)用于LED,大功率功率半導(dǎo)體模塊,半導(dǎo)體冷卻器,電子加熱器,功率控制電路,功率混合電路,智能功率組件,高頻開(kāi)關(guān)電源,固態(tài)繼電器,汽車領(lǐng)域在電子,通信,航空航天和軍用電子元件等領(lǐng)域,可以說(shuō)占據(jù)了電子工業(yè)的大部分領(lǐng)域,無(wú)形也促進(jìn)了電子工業(yè)的發(fā)展。如下圖陶瓷產(chǎn)品示意


陶瓷基板是指銅箔在高溫下直接鍵合到氧化鋁(Al2O3)或氮化鋁(AlN)陶瓷基片表面( 單面或雙面)上的特殊工藝板。所制成的超薄復(fù)合基板具有優(yōu)良電絕緣性能,高導(dǎo)熱特性,優(yōu)異的軟釬焊性和高的附著強(qiáng)度,并可像PCB板一樣能刻蝕出各種圖形,具有很大的載流能力。因此,陶瓷基板已成為大功率電力電子電路結(jié)構(gòu)技術(shù)和互連技術(shù)的基礎(chǔ)材料。

PCB陶瓷板

按制造工藝分類陶瓷基板主要分為平面陶瓷基板和三維陶瓷基板兩大類。

主要的平面陶瓷基板工藝可分為薄膜陶瓷基板(TFC)、厚膜印刷陶瓷基板(TPC)、直接鍵合銅陶瓷基板(DBC)、活性金屬焊接陶瓷基板(AMB)、直接電鍍銅陶瓷基板(DPC)。
主要的三維陶瓷基板分為高溫共燒陶瓷基板(HTCC)和低溫共燒陶瓷基板(LTCC)。

陶瓷基板工藝分類

現(xiàn)階段較普遍的陶瓷散熱基板種類有:HTCC,LTCC,DBC,DPC,AMB等。

HTCC(High Temperature Co-fired Ceramic,高溫共燒陶瓷):屬于較早發(fā)展的技術(shù),是采用陶瓷與高熔點(diǎn)的W、Mo等金屬圖案進(jìn)行共燒獲得的多層陶瓷基板。但由于燒結(jié)溫度較高使其電極材料的選擇受限,且制作成本相對(duì)昂,促使了LTCC的發(fā)展。封裝工藝圖如下:

HTCC制造工藝

LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic,低溫共燒陶瓷):LTCC技術(shù)共燒溫度降至約850℃,通過(guò)將多個(gè)印有金屬圖案的陶瓷膜片堆疊共燒,實(shí)現(xiàn)電路在三維空間布線。工裝工藝示意圖如下:

LTCC工藝流程圖

LTCC在無(wú)源集成領(lǐng)域優(yōu)勢(shì)突出,廣泛用于3C、通信、汽車、軍工等市場(chǎng)。它可以實(shí)現(xiàn)三大無(wú)源器件(電阻、電容、電感)及其各種無(wú)源器件(如濾波器、變壓器等)封裝于多層布線基板中,并與有源器件(如功率MOS、晶體管、IC模塊等)共同集成為完整的電路系統(tǒng)(如SiP)。現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于各種制式的手機(jī)、藍(lán)牙、GPS模塊、WLAN模塊、WIFI模塊等;此外,由于其產(chǎn)品的高可靠性,在汽車電子、通訊、航空航天與軍事、微機(jī)電系統(tǒng)、傳感器技術(shù)等領(lǐng)域的應(yīng)用也日益上升。

DPC(Direct Plating Copper,直接鍍銅):是在陶瓷薄膜工藝加工基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的陶瓷電路加工工藝。以陶瓷作為線路的基板,采用濺鍍工藝于基板表面復(fù)合金屬層,并以電鍍和光刻工藝形成電路。封裝工藝如下2種:

DBC(Direct Bonded Copper,直接覆銅):通過(guò)熱熔式粘合法,在高溫下將銅箔直接燒結(jié)到Al2O3和AlN陶瓷表面而制成復(fù)合基板。封裝工藝如下

AMB(Active Metal Brazing,活性金屬釬焊):AMB是在DBC技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的,在 800℃左右的高溫下,含有活性元素 Ti、Zr 的 AgCu 焊料在陶瓷和金屬的界面潤(rùn)濕并反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)陶瓷與金屬異質(zhì)鍵合。

綜上述五大工藝種中,HTCC\LTCC都屬于燒結(jié)工藝,成本都會(huì)較高。而DBC與DPC則為國(guó)內(nèi)近年來(lái)才開(kāi)發(fā)成熟,且能量產(chǎn)化的專業(yè)技術(shù),DBC是利用高溫加熱將Al2O3與Cu板結(jié)合,其技術(shù)瓶頸在于不易解決Al2O3與Cu板間微氣孔產(chǎn)生之問(wèn)題,這使得該產(chǎn)品的量產(chǎn)能量與良率受到較大的挑戰(zhàn),而DPC技術(shù)則是利用直接鍍銅技術(shù),將Cu沉積于Al2O3基板之上,其工藝結(jié)合材料與薄膜工藝技術(shù),其產(chǎn)品為近年最普遍使用的陶瓷散熱基板。然而其材料控制與工藝技術(shù)整合能力要求較高,這使得跨入DPC產(chǎn)業(yè)并能穩(wěn)定生產(chǎn)的技術(shù)門檻相對(duì)較高。


與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比,AMB陶瓷基板是靠陶瓷與活性金屬焊膏在高溫下進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)來(lái)實(shí)現(xiàn)結(jié)合,因此其結(jié)合強(qiáng)度更高,可靠性更好,極適用于連接器或?qū)﹄娏鞒休d大、散熱要求高的場(chǎng)景。尤其是新能源汽車、軌道交通、風(fēng)力發(fā)電、光伏、5G通信等對(duì)性能要求苛刻的電力電子及大功率電子模塊對(duì)AMB陶瓷覆銅板需求巨大。
按照材料分類陶瓷基板主要材料包括氧化鈹(BeO)、氧化鋁(Al2O3)、氮化鋁(AlN)和氮化硅(Si3N4)等。


陶瓷粉體是影響陶瓷基板物理、力學(xué)性能的關(guān)鍵因素。粉體的純度、粒度、物相、氧含量等會(huì)對(duì)陶瓷基板的熱導(dǎo)率、力學(xué)性能產(chǎn)生重要影響,其特性也決定了基板成型工藝、燒結(jié)工藝的選擇。

BeO陶瓷具有較高的熱導(dǎo)率,但是其毒性和高生產(chǎn)成本限制了它的生產(chǎn)和應(yīng)用。
Al2O3陶瓷基板因其價(jià)格低廉、耐熱沖擊性好已被廣泛應(yīng)用,但因其熱導(dǎo)率相對(duì)較低和熱膨脹率不匹配的問(wèn)題,已無(wú)法完全滿足功率器件向大功率、小型化方向發(fā)展的趨勢(shì)。
AlN和Si3N4陶瓷基板在膨脹系數(shù)及熱導(dǎo)率方面的優(yōu)勢(shì)被認(rèn)為是未來(lái)的發(fā)展方向。Si3N4的撓曲強(qiáng)度更是得到大幅改善, 設(shè)計(jì)師們也因此而受益;其斷裂韌性甚至超過(guò)了氧化鋯摻雜陶瓷,在 90 W/mK 的熱導(dǎo)率下達(dá)到了6.5~7 MPa/√m。

下面來(lái)了解一下陶瓷基板幾大工藝技術(shù)的未來(lái)增長(zhǎng)量以及市場(chǎng)分析

HTCC陶瓷基板未來(lái)市場(chǎng)分析

目前中國(guó)地區(qū)是全球最大的消費(fèi)市場(chǎng),2022年占有26.8%的市場(chǎng)份額,之后是北美、日本和歐洲,分別占有17%、16.0%和15.8%。預(yù)計(jì)未來(lái)幾年,中國(guó)地區(qū)增長(zhǎng)最快。



2022年全球HTCC市場(chǎng)銷售額達(dá)到了196億元,預(yù)計(jì)2029年將達(dá)到289億元,年復(fù)合增長(zhǎng)率(CAGR)為5.67%(2023-2029)。

地區(qū)層面來(lái)看,中國(guó)市場(chǎng)在過(guò)去幾年變化較快,2022年市場(chǎng)規(guī)模為52億元,約占全球的26.8%,預(yù)計(jì)2029年將達(dá)到91.9億元,屆時(shí)全球占比將達(dá)到31.7%。


LTCC陶瓷基板未來(lái)市場(chǎng)分析:

5G 通信對(duì)終端電子元器件提出了小型化、輕量化、低成本、高性能的技術(shù)發(fā)展要求,LTCC具有成本低、設(shè)計(jì)多樣靈活、高頻微波性能優(yōu)良等優(yōu)點(diǎn),可應(yīng)用于5G 和萬(wàn)物互聯(lián)時(shí)代的各類應(yīng)用場(chǎng)景以及高頻通訊移動(dòng)終端,包括汽車電子、計(jì)算機(jī)、遠(yuǎn)程醫(yī)療、智能家居、高頻通訊等。發(fā)展高性能LTCC產(chǎn)品將成為 5G 及萬(wàn)物互聯(lián)時(shí)代的迫切需要。未來(lái),隨著 5G 應(yīng)用、萬(wàn)物互聯(lián)等市場(chǎng)的發(fā)展,國(guó)內(nèi)對(duì)LTCC產(chǎn)品的需求量會(huì)進(jìn)一步增加,據(jù)觀研天下預(yù)測(cè),到2025年國(guó)內(nèi)LTCC市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到90.38億元。

DBC陶瓷基板未來(lái)市場(chǎng)分析:

根據(jù)阿譜爾(APO)的統(tǒng)計(jì)及預(yù)測(cè),2022年全球DBC陶瓷基板市場(chǎng)銷售額達(dá)到了4.03億美元,預(yù)計(jì)2029年將達(dá)到7.67億美元,年復(fù)合增長(zhǎng)率(CAGR)為9.71%(2023-2029)。

全球DBC陶瓷基板(DBC Ceramic Substrate)的核心廠商包括Rogers Corporation、Ferrotec、KCC、合肥圣達(dá)、賀利氏等。前五大廠商占據(jù)了全球約80%的份額。亞太地區(qū)是最大的市場(chǎng),份額約為68%,其次是歐洲和北美,份額分別為24%和7%。就產(chǎn)品類型而言,氧化鋁及ZTA DBC陶瓷基板是最大的細(xì)分,占有大約85%的份額,就下游來(lái)說(shuō),新能源汽車是最大的下游領(lǐng)域,占有59%份額。

目前DBC陶瓷基板上游陶瓷粉體和白板,主要由日本廠商主導(dǎo)。目前氮化鋁陶瓷基板白板和氧化鋁陶瓷基板白板方面,國(guó)內(nèi)已有廠商占有重要份額,但在高端領(lǐng)域,依然由日本廠商主導(dǎo)。

DPC陶瓷基板未來(lái)市場(chǎng)分析

2022年全球DPC陶瓷基板市場(chǎng)規(guī)模為2.6億美元,預(yù)計(jì)2023年有望達(dá)到2.73億美元。DPC陶瓷封裝基板更加符合高密度、高精度和高可靠性的未來(lái)發(fā)展方向,未來(lái)幾年全球DPC陶瓷基板市場(chǎng)規(guī)模呈現(xiàn)持續(xù)增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。

2022-2026年全球DPC陶瓷基板市場(chǎng)規(guī)模情況

全球DPC陶瓷基板主要應(yīng)用于LED領(lǐng)域,占了69%的比重,全球DPC陶瓷基板生產(chǎn)企業(yè)眾多,TOP4企業(yè)占全球DPC陶瓷基板市場(chǎng)的59%。

AMB陶瓷基板未來(lái)市場(chǎng)分析

目前,采用 AMB工藝的氮化鋁陶瓷基板(AMB-AlN)主要用于高鐵、高壓變換器、直流送電等高壓、高電流功率半導(dǎo)體中;采用AMB工藝的氮化硅陶瓷基板(AMB-SiN)主要應(yīng)用在電動(dòng)汽車(EV)和混合動(dòng)力車(HV)功率半導(dǎo)體中。未來(lái)幾年,預(yù)計(jì)氮化硅陶瓷基板(AMB-SiN)更快速增長(zhǎng)。【AMB陶瓷基板】得益于新能源汽車強(qiáng)勁需求,使得功率模塊需求快速增長(zhǎng),增加對(duì)AMB陶瓷基板的需求;此外,新能源發(fā)電,尤其是光伏、風(fēng)電等,在俄烏戰(zhàn)爭(zhēng)背景下,能源安全是全球重要國(guó)家核心關(guān)注點(diǎn)之一,將保持快速增長(zhǎng)。

隨著SiCMOS開(kāi)始供應(yīng)主驅(qū)逆變器,由于逆變器所需SiCMOS面積變大,對(duì)于陶瓷襯板的產(chǎn)能消耗量快速增長(zhǎng)。碳化硅車型滲透率預(yù)計(jì)2024年快速提升,新能源汽車領(lǐng)域成為AMB陶瓷基板最大需求領(lǐng)域。其中,2022年全球AMB陶瓷基板市場(chǎng)銷售額達(dá)到了4.33億美元,預(yù)計(jì)2029年將達(dá)到28.72億美元,年復(fù)合增長(zhǎng)率(CAGR)為26.0%(2023-2029)。AMB陶瓷基板行業(yè)研究功課新型技術(shù)后,預(yù)計(jì)2029年將達(dá)到174億元,

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