高導(dǎo)熱氮化鋁陶瓷基板三大金屬化工藝
高導(dǎo)熱氮化鋁陶瓷基板金屬化后具備更好的電氣性能,可以通電和導(dǎo)電、散熱,同時具備很好的絕緣性和較低的熱膨脹系數(shù)、低的介質(zhì)損耗等。那么高導(dǎo)熱氮化鋁陶瓷基板金屬化工藝是哪些工藝可以實現(xiàn)?
一,DPC工藝
DPC亦稱為直接鍍銅基板,首先將陶瓷基板做前處理清潔,利用薄膜專業(yè)制造技術(shù)-真空鍍膜方式于陶瓷基板上濺鍍結(jié)合于銅金屬復(fù)合層,接著以黃光微影之光阻被覆曝光、顯影、蝕刻、去膜工藝完成線路制作,最后再以電鍍/化學(xué)鍍沉積方式增加線路的厚度,待光阻移除后即完成金屬化線路制作。
二,DBC工藝
DBC陶瓷基板是陶瓷板制作工藝中按工藝屬性分來的陶瓷電路板,DBC就直接覆銅,是一種陶瓷表面金屬化技術(shù),它直接將陶瓷(三氧化二鋁、氧化鈹、AIN等)和基板銅相接。
二,AMB工藝
AMB也叫活性金屬釬焊(Active Metal Bonding,AMB)覆銅技術(shù),顧名思義,
依靠活性金屬釬料實現(xiàn)氮化鋁與無氧銅的高溫冶金結(jié)合,以結(jié)合強度高、冷熱循環(huán)可靠性好等優(yōu)點而備受關(guān)注,應(yīng)用前景極為廣闊。但同時也應(yīng)該看到,AMB工藝的可靠性很大程度上取決于活性釬料成分、釬焊工藝、釬焊層組織結(jié)構(gòu)等諸多關(guān)鍵因素,工藝難度大,而且還要兼顧成本方面的考慮。依據(jù)目前的市場調(diào)研結(jié)果來看,氮化鋁陶瓷AMB覆銅板國內(nèi)相關(guān)研發(fā)機構(gòu)(生產(chǎn)企業(yè))與國外競爭對手存在較大的技術(shù)差距。
氮化鋁陶瓷基板可以根據(jù)客戶的要求做DPC、DBC、AMB工藝,不同工藝特性不同,更多氮化鋁陶瓷基板金屬化的疑問可以咨詢金瑞欣特種電路。